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tcwafer,Tcwafer热偶,Tcwafer电热偶介绍

作者:admin 浏览量:394 来源:本站 时间:2022-02-22 09:45:08

信息摘要:

tcwafer,Tcwafer热偶,Tcwafer电热偶介绍。Tcwafer热偶则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及延迟周期等!​

Tcwafer热偶则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及延迟周期等!


Tcwafer热偶设计和制造温度测量解决方案,保证为您提供灵敏度、快速响应和一致的精度。及时提供其创新的Tcwafer热偶解决方案。

Tcwafer热偶则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及延迟周期等!(温度的均匀与否,良率)

温度范围:

低温:-150 to 700°C(硅基胶粘剂)

高度:-150 to 1,200°C(焊接设计)

热电偶选型:

● Type K (精度级别±1.1°C or 0.4%) ,温度范围 -270 to 1,372°C

● Type N (

精度级别±1.1°C or 0.4%) 温度范围 -270 to 1,300°C

● Type E (

精度级别±1.0°C or 0.4%) ,温度范围 -270 to 1,000°C

● Type T (

精度级别±0.5°C or 0.4%) ,温度范围 -270 to 400°C

● Type R/S (

精度级别±1.5°C or 0.25%) ,温度范围 -50 to 1,768°C





晶圆材质:

硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客户提供的白板的、涂层的或图案基底。可按客户要求定制基板、形状和尺寸。

主要规格:

4寸,6寸,8寸,12

扩展线:可选绝缘层材质,接头类型。密封的扁平电缆,可在大气中打到10-7托。长度由客户选

传感器引线:长达40英尺可定制,

被覆材质:石英 陶瓷纤维 TEF

绝缘材料:石英,聚四氟乙烯,二氧化硅,陶瓷,聚酰*

线规20 AWG – 40 AWG

a)主要型号有k/t/r(根据测温范围以及精度要求选型)

k型适合:0°c -600°c,精度级别为±1.1°c or ±0.4%

t型适合:200°c以下,精度级别为±0.5°c or ±0.4%

r型适合:0°c-1100°c,精度级别为0.1%

b)产品主要规格有:2/4/6/8/12

c)温接点可生产1~24点(但硅片越小测温点尽量减少,因为焊点需要打孔存在应力,另外需要排线,测温点越多难度越高)

d)使用环境为普通或者真空环境

e)晶圆材质:硅片或蓝宝石衬底片



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