2022世界杯买球入口 - APP下载

我们专注于红外退火炉,红外退火炉设备,红外快速退火炉,红外快速退火炉设备,高温快速退火炉,高温快速退火炉厂家,太阳能多晶硅基片,太阳能多晶硅基片厂家
专业的红外退火炉,红外快速退火炉厂家专注于高温快速退火炉、高温快速退火炉设备研发生产
全国咨询热线:0757-82560052
联系我们

【 微信扫码咨询 】

0757-82560052

13702970020

SiC碳化硅载盘

碳化硅载盘,碳化硅刻蚀盘,ICP刻蚀盘LED刻蚀用碳化硅托盘(SIC托盘)φ600mm是深硅刻蚀(ICP刻蚀机)专用的配件晶圆载盘,也有称为晶圆承载盘、硅片承载盘,英文称为Pocket Wafer。在半导体的CVD、真空溅射等方面具有广泛应用。我们可以为客户提供硅、碳化硅材料的定制晶圆载盘,以满足客户不同的应用需求。可以提供带真空孔

在线咨询全国热线
0757-82560052

DSC05633.JPG

碳化硅载盘,碳化硅刻蚀盘,ICP刻蚀盘

LED刻蚀用碳化硅托盘(SIC托盘)φ600mm是深硅刻蚀(ICP刻蚀机)专用的配件

晶圆载盘,也有称为晶圆承载盘、硅片承载盘,英文称为Pocket Wafer。在半导体的CVD、真空溅射等方面具有广泛应用。我们可以为客户提供硅、碳化硅材料的定制晶圆载盘,以满足客户不同的应用需求。

可以提供带真空孔的承载盘、各种异形内槽的承载盘等。

碳化硅陶瓷制品,采用高纯超细碳化硅微粉,经2450℃高温烧结而成,碳化硅含量在99.1%以上,制品密度≥3.10g/cm3,不含金属硅等金属杂质。

►耐高温--1800℃温度下正常使用;

►高热导性--和石墨材料的导热性相当;

►硬度高--硬度仅次于金刚石、立方氮化硼;

►耐腐蚀--强酸、强碱对其无任何腐蚀,抗腐蚀性优于碳化钨和氧化铝;

►重量轻--密度3.10g/cm3,与铝接近,;

►不变形--极小的热膨胀系数,

►抗热震--该材料可承受急剧的温度变化,抗热冲击,耐急冷急热,性能稳定。



DSC05633.JPG

碳化硅载盘,碳化硅刻蚀盘,ICP刻蚀盘

LED刻蚀用碳化硅托盘(SIC托盘)φ600mm是深硅刻蚀(ICP刻蚀机)专用的配件

晶圆载盘,也有称为晶圆承载盘、硅片承载盘,英文称为Pocket Wafer。在半导体的CVD、真空溅射等方面具有广泛应用。我们可以为客户提供硅、碳化硅材料的定制晶圆载盘,以满足客户不同的应用需求。

可以提供带真空孔的承载盘、各种异形内槽的承载盘等。

碳化硅陶瓷制品,采用高纯超细碳化硅微粉,经2450℃高温烧结而成,碳化硅含量在99.1%以上,制品密度≥3.10g/cm3,不含金属硅等金属杂质。

►耐高温--1800℃温度下正常使用;

►高热导性--和石墨材料的导热性相当;

►硬度高--硬度仅次于金刚石、立方氮化硼;

►耐腐蚀--强酸、强碱对其无任何腐蚀,抗腐蚀性优于碳化钨和氧化铝;

►重量轻--密度3.10g/cm3,与铝接近,;

►不变形--极小的热膨胀系数,

►抗热震--该材料可承受急剧的温度变化,抗热冲击,耐急冷急热,性能稳定。


在线客服
联系方式

热线电话

13702970020

上班时间

周一到周五

公司电话

0757-82560052

二维码
线
 
Baidu
sogou