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TC Wafer

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                       TC Wafer
                                         
 
1. 提供2” 4” 6” 8” 12” TC Wafer
 
2. 可根据客户要求材质定制
                                             
3. 可按照客户不同测温点要求定制
  
4. 测温范围可根据要求设计
 
 
TC Wafer简介
 
TC Wafer是温度传感器直接镶嵌在晶圆表面,对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点可以获知特定晶圆位置的真实温度测量值以及整体晶圆温度分布;同时可以实时监控控温过程的温度变化,实现升温、降温过程以及恒温过程期间的温度数据。并可获知炉温温度的均匀度。

示意图

                       TC Wafer
                                         
 
1. 提供2” 4” 6” 8” 12” TC Wafer
 
2. 可根据客户要求材质定制
                                             
3. 可按照客户不同测温点要求定制
  
4. 测温范围可根据要求设计
 
 
TC Wafer简介
 
TC Wafer是温度传感器直接镶嵌在晶圆表面,对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点可以获知特定晶圆位置的真实温度测量值以及整体晶圆温度分布;同时可以实时监控控温过程的温度变化,实现升温、降温过程以及恒温过程期间的温度数据。并可获知炉温温度的均匀度。

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